半导体行业制程螺杆泵维修的注意事项。螺杆泵在生产过程运行时，应定期的对螺杆泵进行检查，发现故障要及时维修。一般螺杆泵检修主要有小修和大修之分，螺杆泵小修的检查周期用在6个月左右，大修的检查周期应在24个月。根据螺杆泵运行状况及状态监测结果可适当调整检修周期。在拆卸螺杆泵时应按以下步骤进行。

①检查电动机电源；电源应断开，并将电源开关上锁。检查出、人口阀门关闭情况，若没有关闭，应关紧。

②松开电动机与泵轴之间的联轴器的连接螺栓，卸下联轴器。

③拆卸检查同步齿轮。

对于单螺杆泵或三螺杆泵，拆卸泵后端盖，检查垫片、止推垫片、轴承、轴向定位塞。

对于双螺杆泵，拆卸泵后端盖，拆卸检查轴承及密封。

④拆卸前端盖，拆卸检查主、从动螺秆及密封。

⑤必要时更换端盖与泵体之间垫片。

半导体行业制程螺杆泵维修，这里特别强调的是，有些泵在制程过程中抽取的有腐蚀性气体，停机后仍有残余气体在泵体内，所以，在拆机前一定要了解泵的制程在那个环节，拆机前一定要穿好防护服装，戴防护手套和口罩。