采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式和氟橡胶密封件。选用油雾过滤器、油返回机构后，就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。

用途

镀膜、溅射、离子镀
气体置换、充填、真空隔热
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析机器、检漏装置
真空包装、真空吸附

搬运、真空成形、真空铸造等

1. 用皮拉尼真空计测得的值，如用麦氏真空计测量则约为 6.7×10-2Pa 。